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紫外线曝光机的工作原理及应用

作者:诺林电子     浏览:140     发表时间:2017-07-20 11:06:38 关键字:紫外线曝光机,曝光机 来源:原创

紫外线曝光机,曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.

紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.


 

紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.曝光机即电子束曝光机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或复晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用.




 

在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.



紫外线曝光机电子束曝光机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.

曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来, 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业.




 

紫外线曝光机是现代制造印刷线路板PCB必不可少的设备,印制电路板制造工艺中,最关键的工序之一就是将底片图像转移到敷铜箔基材上.先在基板上涂覆一层感光材料(如液态感光胶,光敏抗蚀干膜等),然后对涂覆在基材上的光敏性物质进行光辐射,使其溶解性发生变化,未感光部分的树脂没有聚合,在显影液作用下溶解,感光部分的树脂留在基材上形成图像,这一工艺过程即是曝光,也就是印制电路板生产中由曝光机完成的工序.


 

紫外线曝光机工作原理:

在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.




紫外线曝光机应用:

更广范围(UV,DUV,NUV)的紫外光波长选择,出射光强范围: 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光强或恒定功率模式

广泛应用于半导体,微电子,生物器件和纳米科技领.

常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或复晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用.




 

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